磁控濺射靶材透磁率測(cè)量解決方案
項(xiàng)目背景
磁控濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。透磁率可以作為評(píng)估磁性靶材透磁性能的有效指標(biāo)，其測(cè)試方法還沒有相應(yīng)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國(guó)內(nèi)磁性濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。
解決方案
1、測(cè)試設(shè)備：CIM-3140RMT透磁率測(cè)量裝置 CIM-3140RMT透磁率測(cè)量裝置是一款樣品透磁測(cè)量設(shè)備，主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數(shù)測(cè)量，并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理、測(cè)試和數(shù)據(jù)（圖形）輸出等功能， 可滿足用戶對(duì)磁性濺射靶材的測(cè)試、數(shù)據(jù)（報(bào)告）輸出及數(shù)據(jù)管理等需求。
2、設(shè)備特點(diǎn)
- ⑴、RMTest透磁測(cè)量系統(tǒng)為綠色軟件，無需繁瑣的安裝過程。
- ⑵、測(cè)量軟件運(yùn)行于Windows XP或 Win 7 操作系統(tǒng)下，符合Windows軟件規(guī)范，操作直觀簡(jiǎn)捷。
- ⑶、采用橫向探頭測(cè)量樣品表面的透磁。
- ⑷、磁強(qiáng)計(jì)具備自動(dòng)清零功能，能一鍵對(duì)表頭零點(diǎn)進(jìn)行清零。
- ⑸、可在軟件界面選擇磁場(chǎng)測(cè)試量程，無需通過手動(dòng)按鍵切換量程檔位。
- ⑹、測(cè)試結(jié)果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
- ⑺、可導(dǎo)入多組數(shù)據(jù)進(jìn)行多個(gè)半徑曲線對(duì)比。
- ⑻、測(cè)試結(jié)果在PTF或%PTF坐標(biāo)上可以通過雙擊波形調(diào)出單點(diǎn)捕捉功能，可以在軟件界面最下方顯示鼠標(biāo) 當(dāng)前選中位置點(diǎn)的相對(duì)角度和磁場(chǎng)強(qiáng)度值。
- ⑼、儀器自帶水平儀。
- ⑽、支持各種型號(hào)的噴墨或激光打印機(jī)，可直接打印測(cè)試報(bào)告。
- ⑾、可直接通過E-mail發(fā)送彩色的測(cè)試報(bào)告。
- ⑿、有數(shù)據(jù)庫功能,可將測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到EXCEL中，便于對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行分析。
- ⒀、可將測(cè)試報(bào)告轉(zhuǎn)換（保存）為圖片文件，以方便在論文中插圖。
3、主要技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
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系統(tǒng)控制 |
PC+6616PX 16位數(shù)據(jù)采集卡 |
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X單軸行程 |
0-250mm，電動(dòng)調(diào)節(jié) |
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Z單軸行程 |
0-200mm，手動(dòng)調(diào)節(jié) |
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R旋轉(zhuǎn)軸 |
角度刻線間隔5度，旋轉(zhuǎn)速度1-6度/秒可調(diào) |
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測(cè)試時(shí)間 |
測(cè)試時(shí)間可調(diào)，最快60秒/圈 |
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測(cè)量范圍 |
試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm |
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磁強(qiáng)計(jì) |
量程 |
1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
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測(cè)量精度 |
滿量程達(dá)0.5% |
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測(cè)量參數(shù) |
PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp |
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A/D數(shù)據(jù)采集 |
16Bits，旋轉(zhuǎn)分辨率：3600點(diǎn)/360º |
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測(cè)量結(jié)果重復(fù)度 |
小于0.5% |
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測(cè)量軟件 |
Windows 7運(yùn)行環(huán)境，測(cè)量數(shù)據(jù)可以EXCEL形式保存在硬盤，可隨時(shí)查詢 |
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測(cè)量報(bào)告 |
透磁場(chǎng)坐標(biāo)和透磁率坐標(biāo) |
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合格判定 |
按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定 |
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4、軟件界面
5、測(cè)試曲線.
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